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產品詳情

S49 33質量流量控制器，氣體流量控制器，流量控制器廠家

產地：北京HORIBAMETRON公司專業流量控制器研發生產廠家，產品適用于各種氣體，精度高，可任意角度安裝

規格：S49 33/MT

公司所在地：北京北京

電話：400-018-8101 ,15652374940

詳細信息

S49 33質量流量控制器，氣體流量控制器，流量控制器廠家

專業質量流量計/質量流量控制器研發廠家-堀場匯博隆產品適用各種氣體，精度高，零漂小，可任意角度安裝。公司聯系電話：400-018-8101 公司網站：www.horibametron.com

的詳細信息

1. 特點及應用領域

氣體質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S49系列質量流量控制器(流量計)特點：

*采用主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等

*適用于各種腐蝕性氣體

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準

*高精度

*重復性好

*響應速度快、軟啟動、穩定可靠

*低壓降

*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。

*操作使用方便，可任意位置安裝

*便于與計算機連接實現自動控制。

S49系列質量流量控制器(流量計)主要應用領域：

*半導體制造行業的氣體流量控制

*分析儀器設備的氣體計量與控制

*各種形式的真空鍍膜設備

*環境檢測與分析設備

*化工、石化、食品行業氣體流量監測和控制

*特種材料表面處理裝置與燃燒控制

*混氣配氣系統和泄漏探測系統等1. 特點及應用領域

氣體質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S49系列質量流量控制器(流量計)特點：

*采用主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等

*適用于各種腐蝕性氣體

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準

*高精度

*重復性好

*響應速度快、軟啟動、穩定可靠

*低壓降

*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。

*操作使用方便，可任意位置安裝

*便于與計算機連接實現自動控制。

S49系列質量流量控制器(流量計)主要應用領域：

*半導體制造行業的氣體流量控制

*分析儀器設備的氣體計量與控制

*各種形式的真空鍍膜設備

*環境檢測與分析設備

*化工、石化、食品行業氣體流量監測和控制

*特種材料表面處理裝置與燃燒控制

*混氣配氣系統和泄漏探測系統等

主要技術指標

質量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標定。

質量流量的單位規定為: 標準狀態 mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業標準)

標準狀態L/min （升/分鐘） (SLM行業標準)

標準狀態規定為:溫度 --- 0℃

氣壓 — 101325 Pa

F.S (Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 33M/MT型質量流量控制器(流量計)技術指標

編號	項目	S49 33/MT
1	流量規格	(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min		(15,20,30) L/min
2	調節閥類型	電磁調節閥
3	調節閥靜止位置	常閉
4	準確度	± 1.0% F.S	± 2.0% F.S
5	線性	±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6	重復精度	±0.2 %F.S
7	響應時間	≤8 s（T95）
8	工作壓差范圍	(50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9	耐壓	3 MPa ﹑ 10 MPa
10	工作環境溫度	5℃ ～ 45℃
11	材料	不銹鋼316L
12	標準密封材料	Viton®﹑EPDM, 或其他
13	漏率	1×10-8 Pa.m3/s
14	接頭	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它
15	輸入輸出信號	0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
16	電源	+15 V 50 mA -15V 200 mA
17	外形尺寸 mm	134×134×38
18	重量 kg	1.2